分項計畫-可水解基板之平坦化製程之自動化清洗與檢測研究
研究概述
計畫名稱:
分項計畫-可水解基板之平坦化製程之自動化清洗與檢測研究
委託單位:
國科會產學合作計畫(NSC99-2622-E-011-010-CC2)
研究期間:
2010.08.01
至
2011.07.31
參與人員:
蔡明忠 楊明輔 黃敏霖 關玉蘋