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光電系統實驗室

實驗室位置 T1-205 電話 +886-2-2730-7097
老師 郭鴻飛 管理員 黃一峻
研究方向

本實驗室為探討利用光學系統至元件製程之知識所設立,元件種類包含新世代半導體元件與特殊奈米材料元件。目前研究主題有微影解析度增強技術、奈米尺寸量測技術、雷射製程技術、光機電系統整合技術。本實驗室學生來自不同科系背景,一般而言電機系背景之研究生著重於光學相關研究,機械系背景之研究生則與特殊製程相關。目前實驗室主要設備包含各式雷射與光學元件、量測儀器、光學模擬軟體、高速運算伺服器等,進行理論模型建立與實驗驗證,歡迎具創新精神與研究熱忱之碩博士研究生加入本研究室行列。

研究計畫
計畫名稱 計畫時間
光學散射量測含金屬與非等向性材料之半導體疊層上微影圖案關鍵尺寸 2011/8~2012/7
紅外光雷射製作奈米膠矽太陽能電池PN接面之研究 2013/1~2013/12
遠紫外光微影系統中增強解析度之曝光光源模態輸出模組開發 2013/8~2015/7
研究成果介紹

 

 

 

 

 

微影解析度增強技術

 

 

 

 

 

 

 

 

微影製程影像校準開發

 

 

 

 

 

 

無光罩微影系統設計

 

 

 

 

 

 

 

微影關鍵尺寸量測

 
實驗室成員
碩士 黃一峻陳盈全劉昭廷貫軒AnifatulFanchaMuhamad Faisal
博士 李國華